河北微流控芯片之声表面波器件定制 欢迎来电 深圳市勃望初芯半导体科技供应

深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破：深硅刻蚀（DRIE）是制备高深宽比微流道的主要工艺，公司通过优化Bosch工艺参数，实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体（ICP）源，结合氟基气体（如SF6）与碳基气体（如C4F8）的交替刻蚀与钝化，确保侧壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时，可精确复制地下岩层的微孔结构，用于油气渗流特性研究；在生化试剂反应腔中，高深宽比流道增加了反应物接触面积，使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术，实现三维立体流道网络加工，为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力，推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。利用微流控芯片对糖尿病做检测。河北微流控芯片之声表面波器件定制

微流控芯片的硅质材料加工工艺：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和湿法刻蚀(wetetching)技术是2种常规工艺。由于硅材料具有良好的光洁度和很成熟的加工工艺，主要用于加工微泵、微阀等液流驱动和控制器件，或者在热压法和模塑法中作为高分子聚合物材料加工的阳模。光刻是用光胶、掩模和紫外光进行微制造。光刻和湿法蚀刻技术通常由薄膜沉淀、光刻、刻蚀3个工序组成。在薄膜表面用甩胶机均匀地附上一层光胶。然后将掩模上的图像转移到光胶层上，此步骤首先在基片上覆盖一层薄膜，为光刻。再将光刻上的图像，转移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微结构，此步骤完成了蚀刻。河南微流控芯片方法支持 0.5-5μm 微米级尺度微流控芯片加工，满足单分子检测等高精需求。

在微流控芯片定制加工方面，公司已建立完善的PDMS芯片标准化产线，以自研产品单分子系列PDMS芯片产线为基础，建立了完善的PDMS硅胶来料、PDMS芯片加工、PDMS成品质检、测试小试产线。涵盖硅胶来料处理、精密模具成型、成品质检等环节，可批量交付单分子级检测芯片、液滴生成芯片等产品。其微流控解决方案广泛应用于毛细导流模拟、高通量测序反应腔构建、地质勘探流体分析等多元化场景，彰显“MEMS+医疗”技术跨界融合的创新价值。通过工艺标准化与定制化能力的深度协同，正推动微纳加工技术从实验室原型向产业化应用的高效转化。

利用微流控芯片做infection疾病抗原和抗体检测：由病原体引起的infection疾病是一个严重的全球公共卫生问题，部分infection疾病具有高传染性，因此理想的检测应该具有即时性，使得患者在检测现场得以确诊并接受cure，防止传染病大规模传播和暴发。目前一些微流控芯片已经被成功地用于识别病原体分子标志物和infection诊断。Pham等利用金属纳米粒子的信号放大作用，开发一款高敏感性快速检测疟疾抗原的微流控芯片，其敏感性接近临床常规检测方式。利用微流控芯片高通量性质等，设计的微流控芯片可对多种病毒同时检测，节省传染性疾病初始筛查时间并降低成本，此芯片还通过检测每种病毒的多种抗原来提高检测敏感性和特异性。硅基微流道键合微电极，为神经调控芯片提供稳定信号传输与生物相容性。

MEMS多重转印工艺实现硬质塑料芯片快速成型：MEMS多重转印工艺是公司**技术之一，实现了从设计图纸到硬质塑料芯片的快速制造，**短周期*需10个工作日。该工艺流程包括掩膜设计、硅基模具制备、热压转印及后处理三大环节：首先通过光刻技术在硅片上制备高精度模具，然后利用热压成型将微结构转印至PMMA、COC等硬质塑料基板，**终通过切割、打孔完成芯片封装。相比传统注塑工艺，该技术***降低了小批量生产的模具成本（降幅达70%），尤其适合研发阶段的快速迭代。例如，某客户开发的便携式血糖检测芯片，通过该工艺在2周内完成3版样品测试，将研发周期缩短40%。公司可加工的塑料材质覆盖多种极性与非极性材料，兼容荧光检测、电化学传感等功能模块集成，为POCT设备厂商提供了低成本、高效率的原型开发与小批量生产解决方案。硅片微流道加工集成微电极，构建脑机接口柔性电极系统减少手术创伤。天津微流控芯片厂家现货

克服微流控芯片所遇到的难题。河北微流控芯片之声表面波器件定制

柔性电极芯片在脑机接口中的关键加工工艺：脑机接口技术对柔性电极的超薄化、生物相容性及信号稳定性提出极高要求。公司利用MEMS薄膜沉积与光刻技术，在聚酰亚胺（PI）或PDMS柔性基板上制备厚度<10μm的金属电极阵列，电极间距可达20μm，实现对单个神经元电信号的精细记录。通过湿法刻蚀形成柔性支撑结构，配合边缘圆润化处理，将手术植入时的脑组织损伤风险降低60%以上。表面涂层采用聚乙二醇（PEG）与氮化硅复合层，有效抑制蛋白吸附与炎症反应，使电极寿命延长至6个月以上。典型产品MEA柔性电极已应用于癫痫病灶定位与神经康复设备，其高柔韧性可贴合脑沟回复杂曲面，信号信噪比提升30%，为神经科学研究与临床医治提供了突破性解决方案。河北微流控芯片之声表面波器件定制